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3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀主要功能有哪些呢?

  3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:
  1.表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等等)
  2.幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和體積,特征圖形的位置和數(shù)量等等)
  3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀儀的光學(xué)系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)。通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)楣鈱W(xué)3D表面輪廓儀。
  3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀主要功能:
  1、共聚焦
  共聚焦技術(shù)可以用來(lái)測(cè)量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí),共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°(粗糙表面達(dá)86°)。共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。
  2、干涉
  ?相位差干涉 (PSI)
  相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測(cè)量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場(chǎng)測(cè)量。
  白光干涉 (VSI)
  白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率。
  3、多焦面疊加
  多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測(cè)量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn),特別設(shè)計(jì)了此功能來(lái)補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(大86°)。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。
  4、薄膜測(cè)量
  用分光反射計(jì)可以完善地解決薄膜厚度測(cè)量。S neox 在增加了分光反射計(jì)后可以測(cè)量10nm的膜厚和多10層膜。由于是通過(guò)顯微鏡頭測(cè)量,小的測(cè)量點(diǎn)為5um。因?yàn)橄到y(tǒng)里有組合的LED光源,所以實(shí)時(shí)觀察和膜厚測(cè)量能同時(shí)進(jìn)行。
  5、測(cè)量及分析軟件
  SensoSCAN是一款簡(jiǎn)潔友好的操作軟件。它將用戶進(jìn)入3D的世界,提供*用戶體驗(yàn)。在軟件界面內(nèi),用戶可以直觀明確地了解所用的測(cè)量方式,同時(shí)還能顯示和分析數(shù)據(jù)。
  6、強(qiáng)大的專業(yè)分析軟件
  增配SensoPRO LT 或SensoMAP軟件就能輕易實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量和分析。
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